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精密机械加工是一种用加工机械对工件的外形尺寸或性能进行改变的过程。按被加工的工件处于的温度状态﹐分为冷加工和热加工。一般在常温下加工,并且不引起工件的化学或物相变化﹐称冷加工。一般在高于或低于常温状态的加工﹐会引起工件的化学或物相变化﹐称热加工。冷加工按加工方式的差别可分为切削加工和压力加工。热加工常见有热处理﹐煅造﹐铸造和焊接。
电子技术及光学技术的发展,大大促进了自由非球面及其他非传统几何形状微结构光学元件的应用。一些光学设计软件的出现,使得光学设计者可以方便地对光学系统进行性能优化,但这同时也会使得光学元件变得复杂,这就要求微光学元件制造技术能够胜任加工出这些复杂的光学元件。对微光学元件设计者和制造者来说,单晶金刚石超精密加工技术具有很多优势,比如,能够加工真正的三维结构;加工零件的成形精度达亚微米级;表面粗糙度达Ra值5nm,有些材料甚至可以达到1nm;能够加工大深宽比的结构等。因此,在过去十几年内,超精密加工技术在微光学元件加工中的应用实例也在逐渐增多。如单晶金刚石超精密加工技术已成功应用于隐形眼镜、棱镜、非球面透镜、微透镜阵列、金字塔微结构表面、减反射光栅等结构的加工。用单晶金刚石车床加工的微结构。虽然超精密加工技术对某些结构光学元件的加工具有很多优点,但将超精密加工技术与复制成型技术结合起来或许是加工微光学元件最有效的方式,即用超精密加工技术来加工复制模具,然后利用该模具制作出微光学元件。用单晶金刚石车床加工光学元件模具,需要注意选择合适的加工参数,以减小毛刺,降低模具的误差,另外要能加工出合适的金刚石刀具。用金刚石车床加工的模具来制作的菲涅尔透镜用于高架投影仪已获得巨大成功。